反射式膜厚测量仪

反射式膜厚测量仪

SR系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏ITO等镀膜厚度，PET柔性涂布的胶厚等厚度，LED镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。SR可用于测量2纳米到3000微米的膜厚，测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下，还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。

此外，SR还可用于测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。A3-SR进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量，每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库，同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。目标应用：半导体镀膜,光刻胶玻璃减反膜测量蓝宝石镀膜,光刻胶ITO 玻璃太阳能镀膜玻璃各种衬底上的各种膜厚，颜色测量卷对卷柔性涂布光学膜其他需要测量膜厚的场合.

产品型号和系统设置：

光学测量技术参数（OPTICAL SPECIFICATION）

膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：

¹表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能

2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能

3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.

软件(SOFTWARE)：